能够将在第1、第二处理装置tl1、tl2之间产生的空间作为保管区域有效地活用。针对保管架80的保管部320,第1、第二起重机40能够进行物品2的交接。另外,针对保管架80的上表面80a的交接端口330,第1、第二起重机40a、40b和高架搬运车50双方能够进行物品2的交接。另外,第1、第二起重机40a、40b能够在保管部220与保管部320之间搬运物品2。此外,在图10中,示出设置保管部220和保管架80双方的例子,但也可以代替该结构,是在装载端口lp的上方不设置保管部220,在第1、第二处理装置tl1、tl2与第1、第二处理装置tl1、tl2之间(或者装载端口lp与装载端口lp之间)设置保管架80的结构。例如,也可以是在图1所示的第1处理装置tl1与第1处理装置tl1之间、或者第二处理装置tl2与第二处理装置tl2之间(或者装载端口lp与装载端口lp之间)设置保管架80的结构。根据该结构,与上述相同地,能够将在第1、第二处理装置tl1、tl2间(装载端口lp间)产生的空间作为保管区域有效地活用。这样,通过配置保管部220、和具备保管部320的保管架80,在搬运系统100中,能够容易地使物品2的保管数量增大。此外,在搬运系统100中,保管部220或者保管架80的设置数量能够任意地设定。以上,对实施方式进行了说明。栖霞区牛皮袋真空搬运机推荐厂家!丰县粉尘真空搬运机供应
下垂臂19末端设有真空吸盘21,真空吸盘21下端吸有工件。该机械手利用真空吸附原理,将真空泵或真空鼓风机作为真空源,通过抽空真空吸盘21内的空气产生真空,从而将各种工件牢牢吸起,并通过摆动主臂10、摆动副臂11、旋转臂16、下垂臂19等将工件搬运到指定地点。该真空是由一个外部的真空泵或真空鼓风机产生的,不需要链或绳子吊重机或其它的提升设备来抓取或提起的负载起重。通过检测真空吸盘21内的真空度,能自动识别下垂臂19上有无载荷,并经气动逻辑控制回路自动调整主升降气缸5内的气压,达到自动平衡的目的。工作时,重物犹如悬浮在空中,可避免产品对接时的碰撞,避免工件表面损伤。在机械手的工作范围内,作业员可将其移动到三维空间内任意位置,从而实现工件的搬运、翻转、装配等操作。整机无须电控系统,只需压缩空气和真空源即可工作,非常方便。移动小车2用于更换工位,移动小车2上设有立柱4,立柱4顶端设有主旋转座6,可实现机械手的主旋转运动,并对周围360°范围内的工件进行操作。真空搬运机械手的选型是根据需要搬运的工件大小、材质、重量来定的,不同的材质需要用不同材质的吸盘。比如工件表面比较粗糙的一般选项用硅胶或者聚胺脂吸盘。丰县粉尘真空搬运机供应六合区多功能真空搬运机推荐厂家!
其从第二处理装置的装载端口的正上方错开并且沿着第二处理装置的装载端口设置;区段间顶棚轨道,其将第1区段内顶棚轨道与第二区段内顶棚轨道连结;第1保管部和第二保管部,它们在第1区段内顶棚轨道和第二区段内顶棚轨道各自的下方且侧方沿上下方向设置有多层,并用于保管物品;第1交接端口和第二交接端口,它们设置于第1区段内顶棚轨道和第二区段内顶棚轨道各自的下方且侧方;第1起重机,其具备沿着第1区段内顶棚轨道行驶的第1行驶部、从第1行驶部垂下的第1桅杆、以及被第1桅杆引导而升降的第1移送部,并且在第1处理装置的装载端口、第1保管部、以及第1交接端口之间搬运物品;第二起重机,其具备沿着第二区段内顶棚轨道行驶的第二行驶部、从第二行驶部垂下的第二桅杆、以及被第二桅杆引导而升降的第二移送部,并且在第二处理装置的装载端口、第二保管部、以及第二交接端口之间搬运物品;以及高架搬运车,其具备行驶部、用于保持物品的保持部、悬挂保持部且使保持部升降的升降驱动部、以及使升降驱动部向侧方突出的横向伸出机构,并且在第1交接端口与第二交接端口之间搬运物品,上述行驶部沿着第1区段内顶棚轨道、第二区段内顶棚轨道、以及区段间顶棚轨道行驶。另外。
在第1、第二起重机是悬挂式起重机的情况下,由于无需在与第1、第二起重机对应的地上侧(地板面侧)设置轨道,因此能够以低成本进行轨道的设置。另外,在第1区段内顶棚轨道和第二区段内顶棚轨道是环绕轨道,第1起重机和高架搬运车在第1区段内顶棚轨道朝向同一方向环绕行驶,第二起重机和高架搬运车在第二区段内顶棚轨道朝向同一方向环绕行驶的情况下,能够减少从区段间顶棚轨道驶入区段内顶棚轨道的高架搬运车与沿着该区段内顶棚轨道行驶的第1、第二起重机干扰的可能性,并且,能够简化高架搬运车和第1、第二起重机的控制。另外,在第1、第二交接端口配置于第1、第二保管部的较上层的情况下,能够通过高架搬运车和第1、第二起重机双方来进行物品的移送,能够容易地在高架搬运车与第1、第二起重机之间进行物品的交接。附图说明图1是表示本实施方式所涉及的搬运系统的一个例子的俯视图。图2表示第1、第二处理装置和装载端口的一个例子的图。图3表示第1、第二保管部和第1、第二交接端口的一个例子的图。图4是表示悬挂式起重机的一个例子的图。图5是表示高架搬运车的一个例子的图。图6是表示第1、第二起重机的第1、第二行驶部、以及高架搬运车的行驶部的一个例子的图。浦口区多功能真空搬运机推荐厂家!
本发明涉及搬运系统以及搬运方法。背景技术:在半导体制造工厂等制造工厂中,为了将收容半导体晶圆的foup或者收容中间掩模的中间掩模盒(reticlepod)等物品在处理装置的装载端口、保管部以及交接端口之间进行搬运,提出有使用沿着铺设于顶棚的轨道行驶的高架搬运车、和沿着与高架搬运车的轨道地铺设于地板面的轨道行驶的起重机的结构(例如,参照文献1)。文献1:日本第5880693号公报文献1中记载的高架搬运车和起重机均能够访问装载端口、保管部以及交接端口,但由于在不同的轨道行驶,因此需要与高架搬运车和起重机对应地,分别设置顶棚的轨道和地板面的轨道。因此,存在不仅对轨道的设置花费成本,需要用于铺设各轨道的空间,而且需要使处理装置或者保管部等的设置位置与两个轨道对应,因此对处理装置等的布局产生限制的问题。技术实现要素:本发明的目的在于提供能够通过将供高架搬运车和起重机行驶的轨道共用化而减少轨道的设置成本,并且分担高架搬运车与起重机的作用,由此高效地搬运物品的搬运系统以及搬运方法。本发明所涉及的搬运系统具备:第1区段内顶棚轨道,其从第1处理装置的装载端口的正上方错开并且沿着第1处理装置的装载端口设置;第二区段内顶棚轨道。栖霞区包装袋真空搬运机推荐厂家!武进区糖袋真空搬运机供应
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作为我国国民经济的主导产业,机械及行业设备业仍然是我国经济增长的主要支撑;作为经济社会发展的重要依托,机械业是我国城镇就业的主要渠道和国际竞争力的集中体现。利用电子技术、微电子技术、传感器、电液伺服改进传统的机械产品,采用计算机辅助设计、辅助制造及各种模型分析,IT网络技术进行机械的设计和运营,如今的工业自动化设备,真空设备及配件,起重设备及配件,传动设备及配件。气动液压设备,液压元件及工具,包装机械设备, 包装耗材,机电设备,仪器仪表,金属材料,电子产品,化工原料及产品,五金交电,建材,橡胶制品,通讯器材,电线电缆销售,机电设备安装维修,商务信息咨询。不断向信息化、智能化、人性化方向发展以适应未来市场的发展。不少企业家认为,目前销售的简单机器换人并非智能制造,真正意义上的智能制造是以大数据精确计算与判断代替人脑决策,而像机器换人这样的投钱对于纺织业究竟是否划算值得商榷。在现代的床垫弹簧机械行业与其他传统行业都存在着一定的通病,比如:创新实践不足,同质化严重,竞争激烈等问题。在近几年的床垫行业市场,我们可以看到看似新产品、新技术等逐渐进入人们的视野,但是其实这些都私营独资企业是围绕着床垫弹簧机械设备、床垫内芯、床垫面料等这些机械进行着各种包装。丰县粉尘真空搬运机供应
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